衍射法测量细丝直径的研究

被引：10

作者：

孙定源

周桂贤

郑德锋

机构：

[1] 辽宁大学物理系

[2] 辽宁大学物理系辽宁沈阳

[3] 辽宁沈阳

来源：

辽宁大学学报(自然科学版) | 2003年 / 01期

关键词：

激光; 衍射; CCD; 细丝直径; 测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

就几种影响因素从理论和实验上对激光衍射法测量细丝直径进行了研究 ,结果表明利用简单测量装置和采用一些简单的数字信号处理技术后 ,即可对 5 0～ 12 0 μm范围的细丝直径进行较高精度的测量 ,达到 1%的重复性精度

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