微机械惯性传感器的技术现状及展望

被引：36

作者：

刘危

解旭辉

李圣怡

不详

机构：

[1] 长沙国防科技大学

[2] 长沙国防科技大学湖南长沙

[3] 湖南长沙

来源：

光学精密工程 | 2003年 / 05期

关键词：

微机械; 惯性传感器; 加速度计; 陀螺;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

对微机械惯性传感器—微加速度计和微陀螺的技术现状进行了评述。根据其不同的技术实现,诸如制造过程、工作原理、控制系统、接口技术等对其进行了分类描述。这些微传感器的用途很广,而且相对于其传统器件来说有低成本、小尺寸、低功耗等特点,正在全世界范围内被广泛研究。最后,对微机械传感器领域的一些新的进展进行了讨论,并提出了展望。

引用

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