ZnO薄膜的制备和发光特性的研究

被引：17

作者：

梅增霞

张希清

衣立新

韩建民

赵谡玲

王晶

李庆福

机构：

[1] 北方交通大学光电子技术研究所

[2] 信息存储显示与材料开放实验室北京

[3] 北京

来源：

发光学报 | 2002年 / 04期

基金：

高等学校骨干教师资助计划;

关键词：

ZnO薄膜; 光致发光; 溅射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

用射频磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了氧化锌薄膜。在室温下测量了样品的XRD曲线、吸收光谱以及光致发光光谱,探讨了气氛中氧气与氩气比对制备薄膜的影响。从XRD谱中可以看出,样品具有较好的结晶状态。另外,样品在紫外有较强的吸收,而其光致发光也是较强的紫外发射,这表明带间跃迁占了主导地位。以上结果说明:用溅射方法制备的ZnO薄膜结晶质量较好,富锌状态有所改善。

引用

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