亚原子测量机的进展(英文)

被引：2

作者：

HockenRobertJ

王春海

机构：

[1] 美国北卡罗莱纳大学夏洛特分校精密计量中心,美国北卡罗莱纳大学夏洛特分校精密计量中心

来源：

纳米技术与精密工程 | 2003年 / 01期

关键词：

超精; 控制; 磁悬浮; 纳米技术;

D O I：

10.13494/j.npe.2003.002

中图分类号：

TH89 [其他仪器仪表];

学科分类号：

摘要：

为使工程纳米技术成为一个实用学科,需要能在亚原子量级上进行定位与制造的机器.笔者已对它的结构、马达配电原理、干涉技术等细节进行了研究.用网格板时机器进行自标定,设计了一种光学显微镜来探测网格板的特征线.显微镜利用调制发光二极管作为光源,有两个光学成像通道.一个是由双狭缝构成精密测量线条位置.另一个用摄像机直接目视观察.用锁相放大器解调狭缝后的光电二极管电信号.实验表明,网格板线条交点定位检测的重复性标准差约为1 nm.用新开发的一种算法求出了工作台的误差分布图.

引用

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