高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究<spanid="corr-video"class="type"style="display:none">附视频</span>

被引：5

作者：

张连翰

孙敦陆

钱小波

杭寅

机构：

[1] 中国科学院安徽光学精密机械研究所

[2] 中国科学院上海光学精密机械研究所

来源：

关键词：

铝酸镧单晶; 高温超导; 衬底材料; 超光滑表面抛光;

D O I：

10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2002.02.011

中图分类号：

O786 [晶体加工];

学科分类号：

摘要：

本文以化学机械抛光为手段 ,以原子力显微镜 (AFM)为工具 ,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3 单晶的超光滑表面抛光进行研究。既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程 ,又观察到了超光滑表面加工的结果—表面的本征化。显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性

引用

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