利用灰度图提高 Fourier变换轮廓术的测量精度

被引：54

作者：

陈文静

苏显渝

苏礼坤

李万松

向立群

机构：

[1] 四川大学光电系!四川成都,四川大学光电系!四川成都,四川大学光电系!四川成都,四川大学光电系!四川成都,四川大学光电系!四川成都

来源：

光电工程 | 2000年 / 03期

关键词：

傅里叶变换轮廓术; 灰度图; 频谱; 测量精度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

140102 [集成电路设计与设计自动化];

摘要：

在 FTP测量中 ,常利用 π相移方法来消除零频 ,以避免频谱混叠 ,提高 FTP的测量精度。此时 ,测量系统中包含相移装置 ,增加了系统的复杂性。然而 ,人们常常忽略了灰度图中包含的信息在 FTP测量中的作用。本文提出了在 FTP测量中利用一帧灰度图来提高测量精度的方法。该方法测量装置简单 ,又可以达到π相移的效果 ,在实际的 FTP测量中的意义。

引用

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