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采用新型驱动器的微位移工作台设计与实验研究
被引：12
作者：
闫永达
孙涛
董申
机构：
[1] 哈尔滨工业大学精密加工研究所
[2] 哈尔滨工业大学精密加工研究所 哈尔滨
来源：
关键词：
柔性铰链;
微动工作台;
驱动器;
D O I：
暂无
中图分类号：
V261 [制造工艺过程及设备];
学科分类号：
082503 [航空宇航制造工程];
摘要：
介绍了一个高精度的微动工作台,该工作台以柔性铰链为弹性导轨,并采用了一种新型驱动器作为驱动元件,实现了较高的定位精度。同时对工作台的特性进行了实验和分析。
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