MEMS变形镜用PZT厚膜致动器阵列的制备及性能表征

被引：10

作者：

许晓慧

冯艳

刘爽

李保庆

褚家如

机构：

[1] 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系

来源：

纳米技术与精密工程 | 2007年 / 04期

关键词：

变形镜; 压电陶瓷; 锆钛酸铅(PZT)厚膜; 刻蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN384 [铁电及压电器件];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

提出了一种基于锆钛酸铅(PZT)压电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜,建立了该微变形镜的结构模型,分析了其结构中各层厚度对其性能的影响.PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材料的湿法刻蚀技术制备的,刻蚀液为1BHF∶2HCl∶4NH4Cl∶4H2O.以数字锁相方法测试了压电厚膜的介电性能,在100 kHz以下时,其介电常数和介质损耗分别优于2 400和3%.利用悬臂梁方法测试了压电厚膜的d31横向压电系数,约为-250 pm/V.制备了4×4阵列的压电致动器阵列.采用激光多普勒测试压电致动器的电压位移曲线,在100 V的电压驱动下致动器的变形量大约为2.2μm;测试了致动器的频率响应,其谐振频率高于100 kHz;致动器刚度大,带负载能力强.

引用

页码：261 / 265

页数：5

共 3 条

[1]

Screen-printed thick-films:: From materials to functional devices [J].