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C3N4薄膜的结构与性能研究
被引：16
作者：
吴大维
何孟兵
郭怀喜
罗海林
张志宏
傅德君
范湘军
机构：
[1] 武汉大学物理系
来源：
关键词：
含氮量;
C3N4;
结合能;
束缚能;
石墨相;
等离子体增强化学汽相沉积;
性能研究;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
用射频等离子体增强化学汽相沉积技术合成Ｃ３Ｎ４薄膜，并采用强迫晶化技术，经透射电子衍射观测，薄膜具有多晶结构．用Ｘ射线光电子能谱测试了Ｃ，Ｎ原子结合能及含氮量．傅里叶变换红外光谱曲线表明薄膜中不含石墨相．测得薄膜的维氏硬度为２９．２—５０．０ＧＰａ
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页码：115 / 120
页数：6
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