激光外差干涉信号处理技术的研究

被引：3

作者：

谢广平

方萃长

戴高良

殷纯永

机构：

来源：

宇航计测技术 | 1998年 / 04期

关键词：

激光,外差干涉信号,频率,解调技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN761,TN241 [];

学科分类号：

摘要：

介绍了两种激光外差干涉信号的处理方法锁相频率解调法及组合频率解调法。此方法适用于需要实时反馈控制以及定位曝光等场合。用此方法，可以使干涉仪的测量分辨力分别达到３ｎｍ和０．５ｎｍ，干涉仪测量棱镜的允许运动速度达到３ｍｍ／ｓ。

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共 2 条

[1] 一种新的外差干涉信号处理方法──相位及相位整数测量法 [J].

赵洋，李达成 .

计量学报, 1995, (01) :31-36

[2]

光栅计量技术[M]. 浙江大学出版社 , 曹向群等编著, 1992