基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统

被引：4

作者：

代雷 ^{[1
]}

隋永新 ^{[1
]}

吴迪 ^{[2
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

[2] 空军航空大学航空航天情报系

来源：

红外与激光工程 | 2013年 / 08期

关键词：

曲率半径测量; 激光干涉; 不确定度; 干涉检验;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

为了满足光学元件曲率半径精密检测的需求,设计了应用激光干涉方法的曲率半径精密检测系统,实现了对口径100～300 mm,曲率半径500～2 000 mm光学元件曲率半径的高精度,非接触式测量。并分析了影响曲率半径测量结果的各项不确定度,进行不确定度合成。最终完成曲率半径精密检测系统的装调,进行验证实验,曲率半径测量结果相对不确定度约7×10-6,满足了10×10-6的设计要求。

引用

页码：2221 / 2225

页数：5

共 7 条

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