光栅技术在纳米测量中的应用

被引：7

作者：

蒋向前，肖少军，谢铁邦，李柱

机构：

[1] 华中理工大学

来源：

关键词：

纳米测量; 传感元件; 传感系统; 高精度; 全息衍射光栅; 光栅技术; 光栅常数; 光电信号处理; 柔性自动化系统; 光栅干涉; 拍频信号; 动态范围; 垂直分辨率; 衍射级;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1995.s1.081

中图分类号：

TH741.6 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本文提出一种以全息衍射光栅为传感元件的光栅技术。文中给出了它的测量原理与特点，介绍了所开发的宽动态、微位移、高精度传感系统。动态范围６ｍｍ，分辨率０．１ｎｍ；稳定性连续工作４小时，示值变动量小于０．５％。

引用

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