几何光探针法在表面形貌测量中的应用

被引：14

作者：

浦昭邦

杨春兰

赵辉

机构：

[1] 哈尔滨工业大学!哈尔滨,哈尔滨工业大学!哈尔滨,哈尔滨工业大学!哈尔滨

来源：

计量技术 | 2001年 / 01期

关键词：

几何光探针; 离焦误差检测; 共焦显微镜; 表面形貌;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

080401 [精密仪器及机械];

摘要：

本文全面地总结了应用于表面形貌测量中的各种几何光探针方法 ,概述了这些方法的原理、特性及发展现状 ,并对各种方法的优越性及存在问题进行了比较

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