新型声表面波气体传感器

被引：6

作者：

刘国锋

陈明

机构：

[1] 西北工业大学系!陕西省西安市，

来源：

关键词：

声表面波; 气体传感器; 延迟线; 振荡器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

介绍了声表面波（SAW）气体传感器的工作原理及器件制作，提出了1种表面波SO2传感器，它采用三乙醇胺（TEA）覆盖薄膜，分辨率可达70×10－9。还讨论了SAW气体传感器的稳定性、可靠性、灵敏度及选择性等问题，并给出了有关的实验结果。

引用

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