稳定背景下PSD的位置误差分析

被引：14

作者：

袁红星

吕爱民

贺安之

机构：

[1] 南京理工大学应用物理系

来源：

关键词：

位置敏感器件,Lucovskey方程,背景光,反偏,双面分流型;

D O I：

10.13873/j.1000-97871998.05.011

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

从ＰＳＤ的基本方程Ｌｕｃｏｖｓｋｅｙ方程出发，推出了反偏状态下的ＰＳＤ在有稳态非均匀背景光照射下微分方程，并给出了其在双面分流型边界条件下的正规解，从而得出了ＰＳＤ在稳态非均匀背景光照射下的位置输出特性。最后还建立了背景光影响下的位置误差估算公式。

引用

页码：3 / 5

页数：4