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用沸石吸附回收低浓度氟里昂
被引：1
作者：
苏威
机构：
来源：
关键词：
沸石吸附;
低浓度;
氟里昂;
氟氯烷;
氟氯碳;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 日本公害资源研究所开发用沸石吸附回收低浓度氟里昂技术,目前已取得数十分钟内基本上完全吸附回收浓度为200～500ppm的低浓度氟里昂的研究成果,计划来年进一步提高吸收速度并达到装置化。半导体生产厂洗净工序使用的氟里昂由
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