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半导体工业的发展概况
被引:4
作者
:
张厥宗
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司
张厥宗
机构
:
[1]
北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司
来源
:
电子工业专用设备
|
2005年
/ 03期
关键词
:
英特尔公司;
特征尺寸;
IBM;
半导体工业;
电子工业;
光刻技术;
半导体产业;
芯片厂;
硅晶体管;
应变硅技术;
发展概况;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
F416.63 [电子工业];
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:5 / 12
页数:8
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