用于纳米精度大范围位移测量的半导体激光干涉仪

被引：13

作者：

王学锋

王向朝

钱锋

卢洪斌

宋松

步扬

机构：

[1] 中国科学院上海光机所!上海

来源：

关键词：

纳米测量; 光热调制; 干涉仪; 半导体激光器; 光学检测;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上 ,提出了一种扩大其测量范围的方法 ,使得在保持纳米精度的前提下 ,测量范围由半个波长扩大为 12 5 5 6 μm ,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证

引用

页码：455 / 458

页数：4