微等离子体氧化法制备钛酸钡陶瓷膜

被引：21

作者：

姜兆华

李文旭

闫久春

李益民

机构：

[1] 哈尔滨工业大学应用化学系

来源：

材料工程 | 2002年 / 02期

关键词：

微等离子体氧化; 相组成; 元素分布; 成膜过程;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

用微等离子体氧化法制备出纯相的 Ba Ti O3陶瓷膜 ,对所得的陶瓷膜进行 XRD和 EPMA分析。结果表明 ,膜层中钡钛两种元素分布均匀 ,无浓度梯度变化。结合实验现象和测试结果 ,探讨了浓度和电流密度对陶瓷膜的影响 ,并提出了 Ba Ti O3陶瓷膜成膜过程中的可能反应机制过程

引用

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页数：4

共 4 条

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