基于AFM电场诱导氧化的纳米加工

被引：8

作者：

郑丽芬

胡晓东

胡小唐

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津

[3] 天津

来源：

关键词：

AFM; 电场诱导氧化; 阳极氧化; 温度; 湿度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

080906 [电磁信息功能材料与结构];

摘要：

研究利用STM/AFM进行电场诱导氧化加工以及环境(特别是湿度)对纳米加工的影响。通过理论推导得出生成氧化物的线宽与探针偏压有着密切的联系,分析了偏压和场强对氧化速度的影响,比较了相对湿度分别为53%和92%时的加工结果,并在理论上论述了温度对加工的影响。

引用

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