移相式泰曼型CO激光干涉仪的研究

被引：1

作者：

贺俊 ^{[1
,2
]}

王青 ^{[1
]}

高志山 ^{[1
]}

陈磊 ^{[1
]}

机构：

[1] 南京理工大学电子工程与光电技术学院

[2] 南京北方信息产业集团

来源：

红外与激光工程 | 2008年 / S1期

关键词：

红外干涉仪; 调试; 测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN219 [红外技术的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

研究了移相式泰曼型红外干涉仪的工作原理以及仪器的整体设计,讨论了透射光学元件的材料选取问题,对仪器的扩束系统、成像系统进行了理论分析和设计,以及对光源和红外探测器等一些关键器件进行了设计分析。解决了红外干涉仪调试这一技术难点。测量了精磨粗糙平面和球面的面形,结果表明:粗糙平面的面形偏差为0.047λ(PV),而粗糙球面的面形偏差则为0.420λ(PV)(λ=10.6μm)。

引用

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