硅压阻式传感器性能影响因素的研究

被引：4

作者：

朱目成

夏季

张立红

刘强

机构：

[1] 西南工学院!四川绵阳

[2] 洛阳工业高等专科学校!河南洛阳

[3] 中国空气动力研究与发展中心!四川绵阳

来源：

西南工学院学报 | 1999年 / 04期

关键词：

压阻式传感器; 灵敏度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

本文对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析，并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析，给出了部分实验数据与理论分析符合较好。本文的研究对开发设计高性能敏感元件有重要的指导意义

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共 4 条

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李刚 .

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