TEC的高精度半导体激光器温控设计

热电制冷器（TEC）作为半导体激光器（LD）的制冷方案,具有体积小、易于控制等优点。但基于TEC的制冷方案中TEC的制冷功率和目标散热功率之间需要有良好地匹配关系,否则将会导致制冷不足或者导致功耗过大。根据LD组件热负载匹配TEC制冷功率,并通过比例-积分-微分（PID）控制方法实现温控参数的优化设计,实现了基于TEC的LD温度控制系统。经实验验证:该系统能够对LD的工作温度实现控制范围为5℃41℃、稳态误差小、控制精度为±0.05℃的高精度、高稳定性控制,并在高精度的波长测试中得到了很好的应用。