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十年后美国半导体技术预测
被引：1
作者：
陈幼松
机构：
[1] 北京理工大学
来源：
关键词：
半导体产业;
半导体技术;
电子技术;
分子器件;
电子器件;
美国;
美利坚合众国;
北美洲;
D O I：
10.13290/j.cnki.bdtjs.1990.02.015
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
<正> 不久前美国Semiconductor Interna-tional杂志为纪念创刊十周年(1979～1989),邀请各有关专家对十年后美国的半导体技术和半导体工业作了预测。主要的论点有,今后的重点将是单片系统、分子器件,硅晶片的直径将达到8～10英寸,电路设计规则将为0.1～0.3μm,净化室的清洁度将达到Class0.1。下面介绍这些专家的意见。 1.将进入清洁度Class0.1、设备为租借的时代
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