TiO2薄膜的液相沉积法制备及其性能表征

被引:145
作者
王晓萍
于云
高濂
胡行方
机构
[1] 中国科学院上海硅酸盐研究所!上海,,中国科学院上海硅酸盐研究所!上海,,中国科学院上海硅酸盐研究所!上海,,中国科学院上海硅酸盐研究所!上海,
关键词
液相沉积; TiO2; 薄膜; 亲水性;
D O I
暂无
中图分类号
TB43 [薄膜技术];
学科分类号
080101 [一般力学与力学基础];
摘要
采用液相沉积法(LPD)制备了透明TiO2薄膜,并研究了所制薄膜的形貌、结构和在紫外光照射下亲水性能的变化.结果表明,用此法制得的TiO2薄膜较为均匀致密,热处理前后的薄膜具有相似的亲水性能,在紫外光照射下亲水性能都有提高.热处理后的薄膜在紫外光照射一定时间后可与水完全润湿.
引用
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