用于扫描探针显微技术的空间超精微定位系统

被引：6

作者：

胡小唐，庄在龙，陈峰，张小戎

机构：

[1] 天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津大学光电测控技术研究所

来源：

关键词：

柔性平行四杆机构，三维超精微定位，纳米技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN16 [电子光学仪器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ;

摘要：

建立了柔性铰链和复合柔性平行四析结构的力学模型．针对扫描探针显微技术（ＳＰＭ）的需要，给出了一种空间三维超精微定位机构及其控制系统．此定位系统行程１０μｍ，定位精度１０ｎｍ，定位分辨率２ｎｍ．

引用

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