压电式微定位工作台及其控制系统

为了提高机床的定位精度,研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位工作台。微定位工作台在滚珠丝杠副驱动的基础上,对工作台进行了二次精定位。给出了工作台的设计简图,并对其动力学模型进行了分析,结合检测装置和微机控制系统,设计了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位控制系统。实测表明,微定位工作台定位分辨率可达到0.01μm,可满足精密、超精密加工的需要。