利用光频梳提高台阶高度测量准确度的方法

被引:7
作者
张继涛
吴学健
李岩
尉昊赟
机构
[1] 清华大学精密仪器与机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室
关键词
台阶高度; 光频梳; 可调谐半导体激光器; 合成波长;
D O I
暂无
中图分类号
TN247 [光检测技术];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
提出一种利用光频梳和可调谐半导体激光器提高台阶高度测量准确度的方法.通过将可调谐激光器锁定至光频梳,可对激光器的输出波长进行精确锁定与测量.基于可调合成波长链原理,利用锁定后的半导体激光器构建了一套台阶高度测量方案,该方案可消除合成波长误差对台阶高度测量不确定度的影响.采用一台可调谐半导体激光器和光频梳进行了5000 s的连续锁定实验,结果表明,锁定后的可调谐半导体激光器的频率稳定度达1.8×10-12.该方法的理论测量不确定度约为7.9 nm,且测量结果可溯源至时间频率基准.
引用
收藏
页码:88 / 92
页数:5
相关论文
共 4 条
[1]   从长度米到时间秒:稳频激光-铯喷泉钟-飞秒光梳-锶光晶格钟 [J].
李天初 ;
方占军 .
科学通报, 2011, 56 (10) :700-707
[2]   用117μm合成波长实现绝对距离干涉测量 [J].
梁晶 ;
龙兴武 ;
张斌 ;
金世龙 .
光学学报, 2010, 30 (10) :2947-2951
[3]   可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究 [J].
蒋天罡 ;
李岩 ;
王昕 ;
张书练 .
激光与红外, 2005, (07) :518-520
[4]   在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪 [J].
梁嵘 ;
李达成 ;
曹芒 ;
赵洪志 ;
武勇军 .
光学学报, 1999, (07) :3-5