ECR微波等离子体源离子输运的蒙特卡罗模拟

采用蒙特卡罗方法，模拟了ＥＣＲ微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程。研究了鞘层边界处的衔接问题，得到了自洽电势分布和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布与角分布。同时，讨论了磁场对鞘势的影响。