不断发展中的IGBT技术概述

被引:6
作者
周文定
亢宝位
机构
[1] 北京工业大学
关键词
半导体元器件; 晶闸管; 芯片/沟槽栅; 绝缘栅双极晶体管;
D O I
暂无
中图分类号
TN386 [场效应器件];
学科分类号
摘要
概述了自IGBT发明以来其主要结构和相应性能的改进,包括芯片集电结附近(下层)结构的改进(透明集电区),耐压层附近(中层)结构的改进(NPT,FS/SPT等)和近表层(上层)结构的改进(沟槽栅结构,注入增强结构等),以及由它们组合成的NPT-IGBT,Trench IGBT,Trenchstop-IGBT,SPT,SPT+,IEGT,HiGT,CSTBT等。
引用
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