基于无线传感器网络的芯片生产环境监测系统

被引：3

作者：

田勇 ^{[1
,2
]}

唐祯安 ^{[1
]}

喻言 ^{[1
]}

机构：

[1] 大连理工大学电子科学与技术学院

[2] 大连东软信息学院电子工程系

来源：

传感技术学报 | 2013年 / 26卷 / 10期

关键词：

无线传感器网络; 监测系统; 路由算法; 芯片生产环境;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统]; TN405 [制造工艺];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ; 080903 ; 1401 ;

摘要：

针对芯片生产企业对环境温度、湿度、气压、洁净度等指标的严格要求,设计了基于无线传感器网络的芯片生产超净间环境监测系统。系统由已有的硬件部分和提出路由算法的软件部分构成,通过在实际的芯片生产超净间进行测试,验证了该系统不仅能够实时监测芯片生产企业环境参数的变化,而且能够保证传感器节点能量消耗的有效性和均衡性。

引用

页码：1414 / 1419

页数：6

共 7 条

[1]

基于网络环境的生产过程质量监控系统的研发.[D].侯运河.山东理工大学.2010, 11

[2] 光纤布拉格光栅传感技术在隧道火灾监测中的应用研究 [J].