溶胶——凝胶法制备VOx薄膜的半导体——金属相转变

被引：4

作者：

陆松伟

侯立松

干福熹

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所

来源：

关键词：

VOx 薄膜; 半导体—金属相转变观象; 溶胶—凝胶法;

D O I：

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学科分类号：

摘要：

本文用 VO（i-OC3H7）3为原料采用溶胶—凝胶浸渍法在石英玻璃基片上制备了凝胶薄膜,通过真空热处理获得了具有半导体—金属可逆相转变现象的 VOx（2≤x<2.5）薄膜,其相转变温度为67℃,相转变前后近红外区域薄膜的透过率变化可达50%,红外光谱研究表明,x 值接近于2。

引用

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