反应溅射法制备TiO2薄膜

被引：25

作者：

赵坤

朱凤

王莉芳

孟铁军

张保澄

赵夔

机构：

[1] 北京大学重离子研究所!北京

来源：

物理学报 | 2001年 / 07期

关键词：

反应溅射; TiO2薄膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

O614 [金属元素及其化合物];

学科分类号：

摘要：

报道了用反应溅射法制备TiO2 薄膜的实验研究 .详细研究了氧分压、基底温度和退火温度对成膜结构的影响 .制备出了具有金红石和锐钛矿晶体结构的TiO2 薄膜 .分析了金红石和锐钛矿晶体的形成条件 ,并对薄膜的表面形貌进行了测量 .

引用

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页码：1390 / 1395

页数：6

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共 2 条

[1]

Mohan Rao,G.,Mohan,S. Journal of Applied Physiology . 1991

[2]

L. J. Meng,M. P. Dos Santos. Thin Solid films . 1993