规整膜系层厚允许误差的研究

被引：6

作者：

张晓晖

丁双红

机构：

[1] 海军工程大学军用光电工程教研室,烟台大学光电信息学院湖北武汉,山东烟台

来源：

关键词：

规整膜系; 薄膜淀积; 层厚允许误差; 计算机模拟;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

提出了一种通过计算机模拟薄膜的淀积过程来计算规整膜系层厚允许误差的方法 ,所计算的层厚允许误差不仅取决于膜系的设计结构 ,还与薄膜的淀积工艺、镀膜设备的监控精度有关实验结果表明 :采用这种方法所计算出的层厚允许误差对于薄膜的实际镀制具有指导意义

引用

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