多层膜光学常数的迭代椭偏测量研究

论述了多层薄膜光学常数的椭偏测量原理以及测量方法。采用导纳矩阵计算多层薄膜的椭偏参数;采用统计试验法与单纯形法相结合的数值逼近法进行反演计算。更重要的是本文首次提出迭代椭偏测量法,使测量的重复性和精确度都大大提高。所谓选代椭偏测量法是不断地优选椭偏测量入射角,从而选出对该样品来说最佳椭偏测量入射角。用这种方法精确测量了相变光盘记录介质膜晶态下的光学常数,这对于相变光盘膜系结构优化设计很重要。