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三维电场传感器仿真优化及性能测试
被引：10
作者：
郑凤杰
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机构: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
夏善红
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机构: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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机构:
机构：
[1] 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
来源：
关键词：
三维电场传感器;
有限元;
参数优化;
D O I：
暂无
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
采用有限元方法对一种新型三维电场传感器的敏感结构进行仿真分析,优化结构设计参数,提高传感器的测量灵敏度;对采用优化参数制备的电场传感器进行了性能测试,结果表明,该传感器的输出与模拟仿真结果具有良好的一致性,并且与外部电场呈良好的线性关系,传感器的测量灵敏度可达到50V/m。
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页码：946 / 950
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