微加速度开关力电接触仿真分析

被引：2

作者：

田文超

贾建援

陈光焱

赵剑

机构：

[1] 西安电子科技大学机电工程学院,西安电子科技大学机电工程学院,西南电子工程研究所,西安电子科技大学机电工程学院西安,西安,绵阳,西安

来源：

关键词：

微电子机械系统(MEMS); 微加速度开关; 吸附力; 接触电阻;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2005.s2.118

中图分类号：

TM564 [各种开关];

学科分类号：

摘要：

讨论了微加速度开关触点形貌,建立了触点吸附物理模型;根据微观连续介质理论和微观电接触理论,推导出触点间包含斥力项的吸附力和接触电阻数学模型;经仿真分析,得到质量块同基座间的吸附力可以满足质量块同基座间的稳定电接触要求的结论。

引用

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