SnO2－SiO2双层薄膜氢敏元件的特性研究

被引：3

作者：

祁志美，张耀华，李民强，唐红霖

机构：

[1] 中国科学院合肥智能机械研究所

来源：

郑州轻工业学院学报 | 1994年 / S1期

关键词：

薄膜；氧化物；氧化锡；气敏器件;

D O I：

暂无

中图分类号：

O611 [化学元素与无机化合物];

学科分类号：

070301 ; 081704 ;

摘要：

采用溶液－凝胶浸渍涂布工艺在Ａｌ＿２Ｏ＿３陶瓷管上制备了掺杂ＳｎＯ＿２气敏薄膜；利用高温热解法在ＳｎＯ＿２薄膜表面覆盖ＳｉＯ＿２气体分离膜后制得双层薄膜气敏元件。分别测试并比较单层和双层薄膜元件的气敏特性，结果表明：单层薄膜元件对可燃性气体无选择性、响应和恢复时间短；而双层薄膜元件对氢气表现出极高的灵敏度和优越的选择性，其响应和恢复时间都比单层薄膜元件有所延长，结合实验结果，从理论上阐述了双层薄膜元件对氢气的敏感机理。

引用

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