基于光流技术的MEMS器件平面微运动测量

被引：2

作者：

金翠云 ^{[1
]}

靳世久 ^{[2
]}

王建林 ^{[1
]}

机构：

[1] 北京化工大学信息科学与技术学院

[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

电子测量与仪器学报 | 2007年 / 21卷 / 01期

关键词：

MEMS; 动态分析仪; MEMS谐振器; 动态特性; 频闪成像; 光流;

D O I：

10.13382/j.jemi.2007.01.024

中图分类号：

TP21 [自动化元件、部件];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ;

摘要：

为测量MEMS谐振器周期运动过程中各时刻不同相位的运动特性及其动态参数,提出利用光学测量方法,设计基于机器微视觉的MEMS动态分析仪。其实现机理是基于频闪成像原理获得MEMS谐振器一个周期内所需相位的清晰运动图像,结合光流技术对MEMS谐振器的运动序列图像做二维运动估计,从而得到其动态特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考。具有非接触性、测量精度高的特点。实验结果表明,该系统的测量重复性达7.1nm,能够很好地描述微谐振器的动态特性。

引用

页码：90 / 95

页数：6

共 3 条

[1] 用MEMS光开关实现高性能光互连网络附视频 [J].

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[3]

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