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微型机电系统的进展
被引：12
作者：
周兆英，叶雄英，胡敏，尤政
机构：
[1] 清华大学精密仪器与机械学系
来源：
关键词：
微米／纳米技术;
多学科交叉;
微型机构;
微型机电系统技术;
微构件;
执行器;
微流体力学;
工具电极;
固态传感器;
微系统;
微传感器;
领域;
高深宽比;
尺寸效应;
惯用词;
国家实验室;
微管道;
D O I：
10.19650/j.cnki.cjsi.1996.s1.003
中图分类号：
TH-39 [机电一体化];
学科分类号：
080202 ;
080401 ;
080805 ;
0811 ;
摘要：
微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。
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页码：20 / 25+30
页数：7
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