扭摆式硅微加速度计的研究

被引：4

作者：

罗晓章

周百令

机构：

[1] 东南大学仪器科学与工程系!南京,东南大学仪器科学与工程系!南京

来源：

关键词：

扭摆式硅微加速度计; 惯性器件; 灵敏度;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2000.01.009

中图分类号：

TH824 [速度测量仪表];

学科分类号：

摘要：

扭摆式硅微加速度计是一种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件 ,在许多领域都有极其广泛的应用 ,是当今微米 /纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成 ,分析了工作机理 ,探讨了提高灵敏度的途径 ,最后给出了制造工艺和测试结果。

引用

页码：32 / 34

页数：3