光谱扫描装置的运动分析

被引:1
作者
童子磊
机构
[1] 中国科学院上海技术物理研究所上海
关键词
扫描装置; 扫描镜; 传动机构; 刚度; 粘性阻尼;
D O I
暂无
中图分类号
TH74 [光学仪器];
学科分类号
0803 ;
摘要
由于传动机构的刚度有限,扫描装置驱动元件的运动和扫描镜的运动是不一致的。为揭示两者的运动规律,建立了扫描装置的动力模型,该模型考虑了传动机构刚度和系统阻尼的影响。通过对模型的振型分析,得出扫描装置的运动方程,并用Matlab仿真实验对分析结果进行了验证。分析结果表明:驱动元件转子的运动和扫描镜的运动都可视为两种运动分量的合成:一种是两者作为一个刚体的运动,另一种是两者各自独立的运动。分析得到的结论为系统控制和性能评估提供了理论依据。
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共 3 条
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