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高纯水与紫外线技术
被引：12
作者：
沈健
机构：
来源：
关键词：
电子工厂，高纯水，紫外线，消毒;
D O I：
10.13789/j.cnki.wwe1964.1998.12.011
中图分类号：
TU991.25 [饮水消毒、水生物防除];
学科分类号：
0815 ;
摘要：
紫外线杀菌装置在电子工业高纯水制造工艺中得到广泛应用。本文对紫外线杀菌原理、杀菌效果的影响因素、杀菌装置的构造等方面的问题进行了讨论，并介绍了近年来开发的箱内浸水式杀菌装置。
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