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薄膜形貌的AFM观察
被引：8
作者：
张平余
刘维民
薛群基
机构：
[1] 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室!兰州
来源：
关键词：
纳米科技;
溶胶-凝胶涂层;
AFM;
形貌;
铁电;
D O I：
暂无
中图分类号：
O484 [薄膜物理学];
学科分类号：
080501 ;
1406 ;
摘要：
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