相移干涉显微镜的研制和光盘预刻槽形的测量

被引：7

作者：

丁志华

王桂英

包正康

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

[2] 中国科学院上海光学精密机械研究所

来源：

关键词：

光盘预刻槽形测量；Mirau干涉仪；位相检测;

D O I：

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中图分类号：

TH742.9 [];

学科分类号：

摘要：

作者对原有的Ｍｉｒａｕ型相移干涉显微镜的干涉仪布局、参考板结构和位相探测技术中的有关算法作了改进，从而成功地将其运用于光盘预刻槽形的测量。文中对新采用的光路布局、参考板制作方法、干涉图预处理技术以及光强轮廓线定位法都作了详细论述，并给出了光盘预刻槽形的测量结果。

引用

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