相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用

被引：4

作者：

王权陡

余景池

张忠玉

张学军

机构：

[1] 中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室

来源：

关键词：

相移干涉; Zernike多项式; 直线度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

摘要：

应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量 ,测量精度可达到 0 0 13″。与采用自准直仪、激光干涉小角度测量仪的测量方法相比较 ,测量精度有较大幅度的提高。与测长设备光栅尺结合使用 ,可同时高精度测量导轨俯仰和偏摆两方向上的直线度

引用

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