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微型激光干涉仪应用于纳米测量机
被引：5
作者：
陈津平
张宝峰
胡晓东
胡小唐
机构：
[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
[2] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津
[3] 天津
来源：
关键词：
微型激光干涉仪;
纳米测量机(NMM);
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.5 [];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
本文介绍德国SIOS公司的微型激光干涉仪在德国Ilmenau技术大学纳米测量机 (NMM )研制过程中的应用。简要介绍微型激光干涉仪的工作原理 ,重点论述NMM如何在 2 5mmx 2 5mmx 5mm的空间范围内实现分辨力为 1.2nm的三维测量
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