电子器件可靠性的噪声表征方法

被引:12
作者
庄奕琪,孙青
机构
[1] 西安电子科技大学微电子所
关键词
电子器件,噪声,可靠性,缺陷;
D O I
暂无
中图分类号
TN606 [测试、调整及设备];
学科分类号
080903 ;
摘要
随着电子器件朝着高性能、小尺寸和长寿命方向发展,传统的寿命试验可靠性评价方法的局限性日益显著。近年来得到的大量研究结果表明,对于大多数电子器件,噪声是导致器件失效的各种潜在缺陷的敏感反映,噪声检测方法以其灵敏、普适、快速和非破坏性的突出优点,正在发展成为一种新型的电子器件可靠性表征工具。本文对该领域目前的研究进展做了概括性的评述。
引用
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