新型薄膜温差电堆红外探测器的研制

被引：1

作者：

孙铁囤，周南生

机构：

[1] 西安电子科技大学微电子所

来源：

关键词：

温差电堆，响应率，弛豫时间;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN215 [红外探测、红外探测器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

介绍一种新设计的薄膜型温差电堆红外探测器．该器件将吸收层与敏感面分两侧，用ＴＯ－５型封装的新结构．采用半导体工艺研制的Φ１型样品，其结集成度达２２个／ｃｍ２，响应率为３０￣５０Ｖ／Ｗ，弛豫时间为７０～１２０ｍｓ，光谱响应范围从紫外到远红外可调（由窗口材料选定）。

引用

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