Cr-Si-C-N系统中含Cr氮化物薄膜的结构及其摩擦学特性研究进展

被引：5

作者：

李子骏 ^{[1
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吴志威 ^{[1
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高宋 ^{[1
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孔继周 ^{[1
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周飞 ^{[1
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机构：

[1] 南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室

[2] 南京航空航天大学机电学院和江苏省精密与微细制造技术重点实验室

来源：

润滑与密封 | 2015年 / 40卷 / 09期

基金：

高等学校博士学科点专项科研基金;

关键词：

Cr-Si-C-N系统; CrN基薄膜; 微观结构; 摩擦; 磨损;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH117 [机械摩擦、磨损与润滑]; TB383.2 [];

学科分类号：

摘要：

目前广泛应用的含Cr的薄膜有Cr N薄膜,以及以Cr N薄膜为基础,通过添加Si和C元素形成的Cr Si N薄膜、Cr CN薄膜和Cr Si CN薄膜。综述上述4种薄膜的结构及其力学和摩擦学特性的研究进展,阐述在不同摩擦环境下掺杂元素含量对薄膜摩擦因数和磨损率的影响,指出Si和C元素的掺杂均能改善Cr N薄膜的摩擦学性能,并从结构角度分析其原因。

引用

页码：128 / 136+156 +156

页数：10

共 39 条

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